Forschungsschwerpunkte
Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM
Abteilung High Density Interconnect & Wafer Level Packaging & All Silicon System Integration Dresden ASSID
Mikroenergiesysteme
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- Mikrobrennstoffzelle
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- Mikrobrennstoffzelle mit integriertem Wasserstoffspeicher
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- Wafer-Level Mikrobatterie
Energieautarke Mikrosysteme und intelligente, autarke Sensorknoten werden in der Zukunft zu ganz neuen Anwendungen führen. Die dafür notwendige Energieversorgung muss ein integraler Bestandteil bereits in frühen Phasen der Entwicklung sein und macht das Zusammenwirken von Entwicklern, Produzenten und Endkunden notwendig. Mikrobatterien, Mikrobrennstoffzellen und Energie-Harvesting sind Schlüsselwörter dieser Entwicklung. Das Fraunhofer IZM arbeitet gemeinsam mit Partnern aus der Industrie und mit anderen Instituten in diesem Themenfeld in einer Reihe von Verbundprojekten. Vor allem werden die Silizium 3D-Technologien der Abteilung HDI-WLP, aber auch innovative Leiterplatten- und Packaging-Technologien eingesetzt um Energieversorgungssysteme zu miniaturisieren und zu integrieren. Außerdem stehen die notwendigen Geräte und Ausrüstungen zur Verfügung um die elektrochemischen Aktivmaterialien bereitzustellen, zu modifizieren und zu testen. Neben den eigentlichen F&E-Dienstleistungen werden auch Tests für Batterien, Akkumulatoren und Mikrobrennstoffzellen sowie Beratungs- und Erprobungsservice angeboten.
Zu den Forschungsthemen gehören unter anderem:
- Integration von Lithium-Mikrobatterien in Silizium-Chips
- Entwicklung neuartiger mikrostrukturierter Li-Anoden
- Batteriesimulation
- Entwicklung von Mikrobrennstoffzellen
- Optimierung von Mikrobrennstoffzellen bezüglich Pulsbelastung für Funkmodule
- Wasserstofferzeugung für Mikrobrennstoffzellen basierend auf chemischen Hydriden und galvanischen Zn-Zellen
- Energiegewinnung aus der Umwelt mit Piezowandlern und miniaturisierten Solarmodulen.


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