Advanced System Engineering Lab

Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM

Abteilung System Design & Integration

Ausstattung und Tools im Bereich Hochfrequenztechnik

Die Schwerpunkte des HF-Labors bestehen in der Vermessung von planaren "on-wafer" Teststrukturen bis 110 GHz und der 3D-Charakterisierung von Antennenmodulen in der Schirmkabine. Ferner können die dielektrischen Materialparameter von Substraten zerstörungsfrei bestimmt werden.

Laborausstattung

  • - Netzwerkanalysator 2-Tor 110GHz
  • - Netzwerkanalysator 4-Tor 65GHz
  • - Chuck für On-Wafer Probing, thermisch kontrollierbar  200°C
  • - Schirmkabine 18 GHz
  • - Antennenmessplatz für 3D Fernfeldmessungen
  • - Kalibrierte Hornantennen bis 110GHz
  • - Impedanzanalyse
  • - HF- und DC-Messspitzen für planare Testrukturen
  • - Signalanalysator / -generator
  • - Split-Zylinder Resonator für Materialcharakterisierung
  • - Messplatz für Durchbruchspannung dünner Schichten

Entwurfswerkzeuge

  • - Ansys (insbesondere Icepack, HFSS, Maxwell, Q3D, SI-Wave)
  • - Mathematica, Matlab
  • - CST Microwave Studio
  • - Cadence Entwurfsumgebung
  • - Agilent ADS
  • - Messgerätesteuerung mit Wincal und Labview