Technologieorientierte Designmethoden
Komplexere Mikrosysteme bestehen aus einer Vielzahl an Materialien, die mit unterschiedlichen Techniken zusammengefügt werden. Ausgehend von den wichtigsten Integrationstechnologien und deren Freiheitsgraden werden Modelle entwickelt, um Problemstellungen der elektromagnetischen Zuverlässigkeit, der Systemminiaturisierung und der Kostenoptimierung effektiv zu lösen. Das Ergebnis sind entsprechende Entwurfsvorschriften, Komponentenanordnungen und Optimierungsmaßnahmen. Für das zukünftige Design von Mikrosystemen stellt die immer engere Kopplung von System- und Technologieparametern einen sehr zentralen Forschungsschwerpunkt dar.
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