Tutorial  /  20.3.2018

Maßgeschneiderte Siliziumbasierte Sensoren

  • Technologische Grundlagen der Siliziumsensorik
  • Mikromechanische Sensoren
  • Sensordesign und -entwurf (Simulation)
  • Sensorherstellungstechnologien
  • Flex-Integrationstechnologien

Siliziumbasierte Sensoren sind kostengünstig, einfach zu integrieren und somit überall einsetzbar; sie haben deshalb in fast allen Bereichen des Lebens Einzug gehalten. Der extrem niedrige Preis lässt sich allerdings nur durch eine sehr hohe Standardisierung in der Herstellung erreichen. Daraus ergibt sich die Situation, dass eine ganze Reihe sehr preiswerter allerdings auch sehr standardisierter Sensoren erhältlich sind, während die Beschaffung individueller Sensoren zu unverhältnismäßig hohem Aufwand führt.

Dies war der Startpunkt für das Projekt »Silizium-Mikrosensoren«, in dem eine Möglichkeit geschaffen wird, die zahlreichen Vorteile der siliziumbasierten Sensoren für die wichtigsten mechanischen Mikrosensoren auch bei kleinen Stückzahlen zugänglich zu machen. In diesem Tutorial werden das Projekt und sich daraus ergebende Möglichkeiten für Industriepartner vorgestellt. Anhand eines Beschleunigungssensors werden Sie in die Grundlagen des Entwurfs anwendungsspezifischer Siliziumsensoren eingeführt.