Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZMemc3D
Equipment Materials Consortium – 3D
Das Fraunhofer IZM ist Technologiepartner im EMC-3D-Konsortium (www.emc3d.org). Das Konsortium aus Anlagen- und Materialherstellern sowie wissenschaftlichen Forschungseinrichtungen hat sich zum Ziel gesetzt, eine Technologie Plattform für die 3D-Silizium Integration zu entwickeln und zu qualifizieren.
Neben der Weiterentwicklung von Einzelprozessen steht die Prozessintegration in eine Fertigungsumgebung sowie die Weiterentwicklung des interaktiven Zusammenspiels von Einzelprozessen unter den Aspekt eines technologie- und kostenoptimierten Gesamtprozessflow im Mittelpunkt.