Der Institutsteil Chemnitz des Fraunhofer-Instituts für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM wird mit Wirkung vom 1. Juli 2008 eine selbständige Fraunhofer Einrichtung. Der Leiter der neuen Fraunhofer-Einrichtung für Elektronische Nanosysteme ENAS, Prof. Dr. Thomas Geßner; dankte in diesem Zusammenhang Prof. Dr. Herbert Reichl, Leiter des Fraunhofer IZM, für seine Unterstützung beim Ausbau des Standortes Chemnitz.

„Der Institutsteil Chemnitz hat sich kontinuierlich positiv entwickelt. Die Chancen der Mikrosystemtechnik und die überzeugenden Marktaussichten führten 1998 zum Aufbau der Abteilung Micro Devices and Equipment des Fraunhofer IZM unter Leitung von Professor Geßner in Chemnitz. Ein besonders starkes Wachstum erfolgte ab dem Jahr 2006 nach der Entscheidung zum weiteren Ausbau des Standortes. Ein wesentlicher Faktor für die positive Entwicklung des Institutsteils Chemnitz ist die enge Kooperation mit der Technischen Universität Chemnitz, insbesondere mit dem Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM), welches von Prof. Geßner aufgebaut wurde und geleitet wird. In Kooperation mit dem ZfM werden Themen der Mikro- und Nanoelektronik, der Mikrosystemtechnik und der Mikro- und Nanotechnologien anwendungsorientiert und industrienah bearbeitet.“, betont Prof. Reichl.

„Wir werden in der neuen Einrichtung unsere bestehenden Arbeitsgebiete Mikro- und Nanosysteme, Smart Systems Integration, Zuverlässigkeit und Back End of Line für die Mikro- und Nanoelektronik sowie die 3D Integration fortführen und insbesondere, wie der Name schon sagt, die Aspekte der Nanowelt berücksichtigen. Darüber hinaus werden wir bestehende Kooperation aufrechterhalten und neue in Angriff nehmen.“, führt Prof. Geßner aus.

Die Kernkompetenzen des Fraunhofer ENAS liegen auf dem Gebiet der Entwicklung von Mikro- und Nanosystemen und umfassen Design, Technologie und Charakterisierung.

Für die inhaltliche Weiterentwicklung in Richtung der Mikro- und Nanosysteme wird auch in Zukunft die enge Kooperation mit dem Fraunhofer IZM Berlin, insbesondere auf dem Gebiet der Nano-Aufbau- und Verbindungstechnik, weitergeführt. Die Kooperation wird von Zukunftsthemen (Carbon Nano Tubes CNT, Nanorasen) bis hin zur technologischen Zusammenarbeit reichen. Mit den Fraunhofer IZM Institutsteilen in München und Berlin besteht darüber hinaus eine Kooperation im Bereich 3D-Integration.