HF freies Ätzen von Glas

Das Fraunhofer IZM entwickelt ein Fluorwasserstoffsäure-freies Ätzverfahren zur Herstellung zuverlässiger und robuster Glasfaser-Komponenten und integrierter Glasoptiken.

Das Fluorwasserstoffsäure (HF)-freie Ätzen auf der Basis von Salzschmelzen ermöglicht das Ätzen von Glasmaterialen ohne Oberflächenmikrorisse. Diese Mikrorisse entstehen üblicherweise bei Erwärmung des HF-geätzten Glases. Dadurch wird das HF-geätzte Glas hoch anfällig für oberflächliche Schäden.

Es wurde eine Flüssigsalzätzstation entwickelt und aufgebaut, um Glas mit definierten und kontrollierten Prozessparametern zu ätzen. Der Ätzangriff der Salzschmelze am Glas ist ähnlich zu einem nasschemischen Ätzverfahren bei dem eine Mischung von verschiedenen Ätzmedien verwendet wird. In einer Vielzahl von erfolgreichen Tests wurden Quarzglasfasern und Borosilikatgläser mit einer stets homogenen Ätzzone erzeugt.

Geätzte Glasfasern können u.a. in folgenden optischen Komponenten verwendet werden:

  • Radial abstrahlende Fasern für minimalinvasive Lasertherapie
  • Koppler für Tele- und Datenkommunikation sowie optische Kohärenztomographie
  • Sensoren für evaneszente Felder in der Biomedizintechnik und chemische Analysen
     
System Integration & Interconnection Technologies / Leistungsangebot / HF freies Ätzen von Glas
© Fraunhofer IZM

Mit Salzschmelzen geätzte optische Faser (SMF-28, Ø125µm). Ätzen-Rate von 0,25 µm/min.