Tutorial

• Grenzen des Einsatzes von Siliziumsensoren bei höheren Temperaturen
• Materialsysteme für Sensoren im Hochtemperaturbereich
• Methoden des Entwurfs von der Konzeption bis zur Charakterisierung
• Anwendungsbeispiele

Siliziumbasierte Sensoren sind kostengünstig, einfach zu integrieren und somit überall einsetzbar. Ein Nachteil der Technologie ist jedoch die geringe Temperaturfestigkeit. Steigt die Umgebungstemperatur des Einsatzgebietes über 150°C, wie es zum Beispiel in der unmittelbaren Nähe zu Verbrennungsmotoren, in Gasturbienen, aber auch in Kunststoffspritzgießmaschinen der Fall ist, scheiden diese Sensoren aus. Um diese Prozesse zu optimieren, bedarf es Sensoren, die bei höheren Temperaturen Prozessgrößen aufnehmen und weiterverarbeiten können – Hochtemperatursensoren. Das Tutorial bietet Ihnen einen Einstieg in die komplette Entwicklungskette, beginnend mit der Konzeption, über die Materialauswahl, den Entwurf und die Simulation bis hin zur Charakterisierung. Anhand von praktischen Beispielen lernen Sie die Möglichkeiten und Grenzen der Hochtemperatursensoren und deren nachfolgender Signalverarbeitung kennen.