Fraunhofer-Forschende haben gemeinsam mit der Universität Münster einen waferbasierten Fertigungsprozess für eine neuartige, winkelabhängig messende Siliziumdiode entwickelt. Die Energiefilter-Diode soll künftig dabei helfen, Signal- und Hintergrundelektronen zu unterscheiden, die mit nahezu gleicher Energie, aber unterschiedlichen Einfallswinkeln auf einen Detektor treffen. Eine mögliche Anwendung ist das internationale KATRIN-Experiment zur Bestimmung der Neutrinomasse. Im Reinraum des Fraunhofer IZM wurden dafür tiefe, wabenförmige Mikrostrukturen in großflächige Detektorwafer eingebracht, elektrisch passiviert und für weitere Untersuchungen an die Universität Münster übergeben.
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